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我們在 新奇 有趣 這個(gè)別具一格的企業(yè)哲學(xué)的指引下，通過提供科學(xué)進(jìn)步所需的**產(chǎn)品，履行我們的社會責(zé)任 尤其是在保護(hù)健康、**和環(huán)境方面。遍布**每個(gè)角落的 HORIBA人 ，期待著與您合作，為您提供滿足需求的*佳分析解決方案。

HORIBA提供多種自動注入裝置，**、可靠的傳輸液體到任何端點(diǎn)。針對半導(dǎo)體工藝挑剔的要求，HORIB提供的產(chǎn)品中需要接觸液體的零部件全部采用不銹鋼材料，以達(dá)到高性能的表現(xiàn)效果。HORIBA的直接注入式汽化器可傳輸TEOS、TEB、TEPO。針對光刻、擴(kuò)散工藝中用到的強(qiáng)腐蝕性材料，F(xiàn)DM系統(tǒng)選用抗腐蝕非金屬材料，保證工藝系統(tǒng)的壽命及**。FDM可傳輸液體PCL3或BBr3至HORIBA先進(jìn)的溫度補(bǔ)償鼓泡裝置裝置VM系列。

HORIBA榮獲液體傳輸系列大獎（FDM系列），此獎項(xiàng)表彰于HORIBA在擴(kuò)散工藝中成功開發(fā)了POCL3自動傳輸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)POCL3傳輸特制塑料鼓泡裝置內(nèi)。

FDM和VM系統(tǒng)適用于硅基電池片的擴(kuò)散制程，同樣可以用于BBr3的擴(kuò)散制程，減少運(yùn)輸和人力成本，提高**性。

規(guī)格

1.提高產(chǎn)能

VM系列（汽化傳輸系統(tǒng)）無需使用傳統(tǒng)的石英鼓泡器更換，實(shí)現(xiàn)*小化停機(jī)時(shí)間，有效提供產(chǎn)能。

2.減少運(yùn)營成本

FDM系列可減少POCL3消耗：每公斤可降低30*的價(jià)格

依賴于持續(xù)工作，實(shí)現(xiàn)超過99.8*的正常運(yùn)營時(shí)間

減少POCL3浪費(fèi)

更長的壽命，更低的維護(hù)成本，系統(tǒng)內(nèi)部工藝流程無需暴露于周圍環(huán)境

3.提高工藝穩(wěn)定

VM系列一直將液位保持 High 狀態(tài)，使整個(gè)工藝流程相比較石英鼓泡系統(tǒng)更為穩(wěn)定

由于鼓泡裝置的持續(xù)注入，液位將不會受到影響

無鼓泡裝置需更換，避免操作失誤

無環(huán)境溫度的影響

薄層電阻相較于傳統(tǒng)鼓泡裝置更為穩(wěn)定，再現(xiàn)性更出色

4.提升**性

無石英材料。VM系列將由PFD材質(zhì)構(gòu)建。相較于石英材料，PFD更為堅(jiān)固，無需替換

無需定期更換parts，減少人工操作失誤

POCL3將從20L的不銹鋼瓶傳輸控制至PFA管路

堅(jiān)固、無泄漏的鼓泡外殼與廠務(wù)端鏈接排氣

集成液體泄漏，氣體泄漏監(jiān)測裝置

濕線清理與泄漏自動監(jiān)測

5.提高可靠性

POCL3是一款親水性強(qiáng)可產(chǎn)生磷酸導(dǎo)致腐蝕或結(jié)晶的液體。常規(guī)的鼓泡系統(tǒng)需要定期更換會導(dǎo)致提升與空氣接觸的可能性。HORIBA POCL3的自動注入系統(tǒng)不需要定期更換鼓泡系統(tǒng)，有效降低了POCL3管道與空氣接觸的可能性。

深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司為機(jī)電設(shè)備行業(yè)知名供應(yīng)商。成立于2014年，專業(yè)供應(yīng)歐洲等國家的機(jī)電設(shè)備，儀器儀表，五金工具等。年銷售額超億元以上。公司信譽(yù)至上、原裝正品采購、價(jià)格優(yōu)惠、品質(zhì)有保障!我們將本著“誠信為本，共創(chuàng)雙贏”。竭誠為您提供安全，可靠，完善的售前，售中以及售后服務(wù)。深圳華聯(lián)歐已為中國眾多大型企業(yè)提供國外工業(yè)品設(shè)備：如：寶鋼、鞍鋼、武鋼、首鋼、包鋼、本鋼、邯鋼、攀鋼、凌鋼、萊鋼、天鋼、八鋼、南鋼、杭鋼、中石油、中海油、殼牌集團(tuán)、茂名石化、盤錦石化、齊魯石化、廣州石化、天津石化、蘭州石化、燕山石化、大慶油田、科研機(jī)構(gòu)、汽車配件廠、食品加工行業(yè)等。小編通過上述幾個(gè)方面為大家詳細(xì)介紹了《HORIBA反應(yīng)器維修（2023年最新發(fā)布）》等內(nèi)容，相信應(yīng)該看懂了吧。如需詢價(jià)!請?zhí)峁┵Y料直接傳真給我們(品牌+型號+數(shù)量+你的公司名/電話/傳真)等相關(guān)資料。我們將在收到資料后1-3個(gè)工作日做出回復(fù)。